罗茨泵与干泵、油旋片真空泵、水环泵组合使用，可在压力800~1.3X10^-1Pa范围内提高抽气速率。是专为清洁度较高的场合设计的罗茨式真空泵。

特长

①洁净的真空

腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

②特殊表面处理

主要部件表面进行硬质氧化处理，提高耐腐蚀性，同事减少泵体内部损伤。

此特性可选，标准品表面不处理。

③配置变频器缩短排气时间

配置变频器后与粗抽泵同时启动，与标准泵相比有效缩短排气时间。

此配件可选，标准品不配置。

用途

镀膜、溅射、离子镀、液晶注入、真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、分析仪器、密封装置、热处理炉、溶解炉、其他各种真空装置等。