无尘室

 

无尘洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室，洁净室或无尘车间。无尘室是污染控制的基础。

无尘洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。